推板爐專門設計用於雙溫區CVD工藝也可用於其它高溫材料的熱處理工藝↟↟,兩個溫區獨立控制↟↟,溫區可單獨使用↟↟,也可提供較大梯度差的溫場▩••◕▩。矽鉬棒▩╃、矽碳棒↟↟,矽碳棒↟↟,電阻絲組合加熱↟↟,在同一腔體內實現不同的溫度差↟↟,是CVD工藝的專用理想裝置▩••◕▩。
今天小編要與大家分享的是推板爐所具備的技術優勢₪✘:
1▩╃、使用安全性
(1)超溫保護功能↟↟,當溫度超過允許設定值後↟↟,自動斷電及報警▩••◕▩。
(2)漏電保護功能↟↟,當爐體漏電時自動斷電▩••◕▩。以上功能確保了使用的安全性▩••◕▩。
2▩╃、操作便捷性
(1)氣路連線方式採用了快速連線法蘭結構▩••◕▩。
(2)使取放物料過程簡化↟↟,只需一支卡箍便可完成氣路連線↟↟,方便操作▩••◕▩。
(3)取消了複雜的法蘭安裝過程↟↟,減少了爐管因安裝造成損壞的可能▩••◕▩。
3▩╃、結構實用性
(1)爐膛材料採用多晶莫來纖維真空吸附製成↟↟,節能50%↟↟,溫場均勻▩••◕▩。電熱元件採用表面溫度1500度的優質矽碳棒及表面溫度1700度的矽鉬棒▩••◕▩。
(2)密封法蘭採用雙環密封技術↟↟,有效的提高了爐管兩端的氣密性▩••◕▩。氣路具有進出氣微量可調功能▩••◕▩。
(3)兩端氣路支架↟↟,支撐著氣路裝置▩••◕▩。有效消除了氣路總成自身的應力↟↟,杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞▩••◕▩。
(4)採用空氣隔熱技術↟↟,結合熱感應技術↟↟,當爐體表面溫升到達50℃時↟↟,排溫風扇將自動啟動↟↟,使爐體表面快速降溫▩••◕▩。
4▩╃、控制智慧化
(1)電爐溫度控制系統採用人工智慧調節技術↟↟,具有PID調節▩╃、模糊控制▩╃、自整定功能↟↟,並可編制各種升降溫程式▩••◕▩。
(2)國產程式控溫系統可編輯50段程式控溫↟↟,進口程式控溫系統可程式設計40段程式控溫▩••◕▩。
(3)爐內配置有485轉換介面↟↟,可實現與計算機相互連線▩••◕▩。完成與單臺或多達200臺電爐的遠端控制▩╃、實時追蹤▩╃、歷史記錄▩╃、輸出報表等功能▩••◕▩。
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