淺述鐘罩爐的各組成部分作用

　　鐘罩爐所提供的燒結窯爐的主要特性是高效率•·✘↟│，其智慧控制系統和其他裝置構成了一個完整的功能單元•·✘↟│，可充分滿足鐵氧體行業近乎藝術級的要求·╃。可以根據需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線•·✘↟│，來生產高質量的產品·╃。除此以外還可以根據實際需要及時生產任何其他產品•·✘↟│，從而縮短交貨期和降低成本·╃。在燒結時僅僅需要少數操作人員•·✘↟│，裝載和解除安裝可以在白天完成•·✘↟│，而燒結可以在夜間完成•·✘↟│，實現電力調峰•·✘↟│，在當今電力緊張情況下•·✘↟│，十分實用·╃。

　　目前裝置可用於砷化鎵·☁✘•、矽以及其他半導體材料•·✘↟│，離子注入後的退火·☁✘•、矽化物的形成·☁✘•、歐姆接觸製備以及快速氧化·☁✘•、快速氮化等方面·╃。鐘罩爐主要由真空腔室·☁✘•、加熱室·☁✘•、進氣系統·☁✘•、真空系統·☁✘•、溫度控制系統·☁✘•、氣冷系統·☁✘•、水冷系統等幾部分組成的•·✘↟│，下面咱們來了解下各組成部分的作用│✘₪•·：

　　1.真空腔室│✘₪•·：真空腔室是其工作空間•·✘↟│，晶圓在這裡進行快速熱處理·╃。

　　2.加熱室│✘₪•·：加熱室以多個紅外燈管為加熱元件•·✘↟│，以耐高溫合金為框架·☁✘•、高純石英為主體·╃。

　　3.進氣系統│✘₪•·：真空腔室尾部有進氣孔•·✘↟│，控制的進氣量用來滿足一些特殊工藝的氣體需求·╃。

　　4.真空系統│✘₪•·：在真空泵和真空腔室之間裝有高真空電磁閥•·✘↟│，可以有效確保腔室真空度•·✘↟│，同時避免氣體倒灌汙染腔室內的被處理工件·╃。

　　5.溫度控制系統│✘₪•·：溫度控制系統由溫度感測器·☁✘•、溫度控制器·☁✘•、電力調整器·☁✘•、可程式設計控制器·☁✘•、PC及各種感測器等組成·╃。

　　6.氣冷系統│✘₪•·：真空腔室的冷卻是透過進氣系統向腔室內充入惰性氣體•·✘↟│，來加速冷卻被熱處理的工件•·✘↟│，滿足工藝使用要求·╃。

　　7.水冷系統│✘₪•·：主要包括真空腔室·☁✘•、加熱室·☁✘•、各部位密封圈的冷卻用水·╃。